Alignment #Overlay #ovl #align #정렬 #오버레이 #aligner #photo #lithography #반도체 #반도체장비 #반도체설비 #반도체공정 #공정 #설비 #process #semiconductor1 Alignment란 ?? (overlay랑 alignment 의 햇갈림방지) 이번에는 Alignment에 대해 간략히 적어보겠습니다.Alignment 의 글들을 보니 Overlay랑 약간 비슷하게 적혀진 글들이 많아서 저도 보면 햇갈릴 수 있는 글들이 많습니다.이번 페이지에서는 기본적으로 Alignment가 뭔지, Overlay 와 비교해서 차이점은 무엇인지, 간단히 설명드리겠습니다 (깊게 들어가면 아주 길어지고 전문적이라 짧게 설명드리겠습니다). 시작하기전에 구글에 "Alignment, overlay mark" 라고 검색하니 아래와같이 좋은그림들이 많이 나오네요. 대충 아 이런모양을 측정하는구나~ 이렇게 생각하고 넘어가시면 됩니다. mark모양은 Chipmaker 별로 device별로 다를수있고 사용자마다 다를수있으니 너무 연연해 하지않아도 됩니다. 1. 정의아리까리... 비슷.. 2021. 5. 5. 이전 1 다음
