Semiconductor/Lithography3 Lithography – KPIs (CD, Overlay, PPE, EPE) 안녕하세요 이번시간에는 KPI에 대하여 알아보겠습니다. KPI란, Key performance Indicator 의 약자 입니다. 쉽게 한글로 생각한다면, 판단지표 라고 생각됩니다. 지표들이 많으면 많을수록 상황을 이해할수 있다고 생각됩니다. 예를들어 데이터에 산포를 알고싶다면 표준편차나 3sigma 같은 단위가 하나의 KPI가 됩니다. 영희와 철수중 누가 더 키가 큰지 알고싶다면 "키" 라는 KPI를 확인하여야 누가 더 큰지, 얼마나 "키"라는 KPI에 대하여 큰지 정확히 알수 있습니다. KPI는 반도체 이외의 산업군에서도 널리 쓰이는 단어이므로 알고있으면 좋으실 것 같습니다. 자 이제 Lithography 에서 제일 중요하게 쓰이는 KPI는 무엇이 있을까요? 저번 글을 통해서 말씀드렸던 CD (Cri.. 2023. 5. 19. Alignment란 ?? (overlay랑 alignment 의 햇갈림방지) 이번에는 Alignment에 대해 간략히 적어보겠습니다.Alignment 의 글들을 보니 Overlay랑 약간 비슷하게 적혀진 글들이 많아서 저도 보면 햇갈릴 수 있는 글들이 많습니다.이번 페이지에서는 기본적으로 Alignment가 뭔지, Overlay 와 비교해서 차이점은 무엇인지, 간단히 설명드리겠습니다 (깊게 들어가면 아주 길어지고 전문적이라 짧게 설명드리겠습니다). 시작하기전에 구글에 "Alignment, overlay mark" 라고 검색하니 아래와같이 좋은그림들이 많이 나오네요. 대충 아 이런모양을 측정하는구나~ 이렇게 생각하고 넘어가시면 됩니다. mark모양은 Chipmaker 별로 device별로 다를수있고 사용자마다 다를수있으니 너무 연연해 하지않아도 됩니다. 1. 정의아리까리... 비슷.. 2021. 5. 5. CD? , OVL? (Critical dimension/ Overlay) 동료분의 질문을 받았습니다. What's the CD? (CD가 뭐냐) What's the difference between CD and overaly? (CD랑 Overlay랑 차이가 뭐냐?) CD is only measuring current layer? (CD는 현재 layer(층) 만 측정하는것인가?) 간단해보이지만 좋은 질문들입니다. 저도 예전에 똑같은 생각으로 많이 검색도 하고 햇갈리기도 하였습니다. CD란 Critical Dimension 을 이야기하는데, 그냥 쉽게 생각하면 선의 사이즈입니다. 선을 이야기할때도있고 space를 이야기할때도 있고 CD를 여기저기 엄청많이 사용하지만 쉽게 생각하면, 그냥 선의 두께를 잰다고 생각하면됩니다. 지금눈앞에 보이는 선. 아니면 원이될수도있습니다. 원이.. 2021. 4. 6. 이전 1 다음
